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Erfassung von Flachstellen mit D12

Beschreibung

Ein Wafer wird in einer Positionierungsvorrichtung gedreht. Die Drehung stoppt. wenn die Lichtstrahlen
beider Einweglichtschrankensensoren über der Vorderseite der Wafer-Flachstelle liegen. D12-Sensoren mit hoher Ansprechgeschwindigkeit (50 µs) verbessern die Reproduzierbarkeit des Stoppvorgangs.

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