Wafer-Mapping in FOUP mit PicoDot

Beschreibung

Die beiden PicoDot-Sensoren werden so positioniert. dass sie gleichzeitig die Kante desselben Wafers erfassen. Wenn nur ein Sensor eine Waferkante "sieht". wurde der betreffende Wafer wahrscheinlich schief eingesetzt.

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Lasersensor der Bauform Picodot PD

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