Erkennung von vorstehenden Wafern mit PICO-AMP

Beschreibung

Ein aus einer Kassette herausragender Wafer kann gebrochen oder beschädigt sein. Dadurch wird der Durchsatz verringert und ein Prozess kann unterbrochen werden. Der Verstärker MD14BB6 stellt zusammen mit den externen SP8ER1-Sensoren einen sehr kleinen Sensor mit einem schmalen (1.5 mm) effektiven Strahl dar. Die maximale Reichweite im Einweglichtschrankenbetrieb ist 300 mm.

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