Erkennung von Wafer-Kassetten in Flüssigkeit mit D12

Beschreibung

Silicium-Wafer werden in einer Kassette von einem Arbeitsvorgang zum nächsten transportiert. Diese Kassetten werden über ein Fließband befördert. das vollständig von entionisiertem Wasser überflutet ist. An beiden Seiten des Fließbands werden vollvergossene Einweglichtschranken angebracht. Die Endhülsen der Lichtwellenleiter können komplett ins Wasser getaucht werden. Wenn die Kassette vorhanden ist. wird die Lichtschranke unterbrochen.

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D12-Sensoren

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