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PicoDot Trazado de Obleas en FOUP

Detectar obleas semiconductoras que no están colocadas debidamente en el casete.

Descripción

Los dos sensores PicoDot se ubican para detectar el borde de la misma oblea al mismo tiempo. Si sólo un sensor "ve" el borde de la oblea, es muy probable que esa oblea se inserte en un ángulo o "ranura cruzada."

Sensores Láser Serie PicoDot PD

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