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Banner à l'internationalPicoDot Cartographie de plaques de semi-conducteurs en FOUP
Détecter les plaques de semi-conducteurs mal chargées dans une cassette.
Description
Les deux détecteurs PicoDot sont positionnés pour détecter le bord de la même plaque en même temps. Si un seul des détecteurs "voit" le bord, c’est que la plaque a été insérée avec un angle ou est "retournée."
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Détecteur laser Picodot série PD |
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