Rilevare la presenza di una cassetta di wafer su un nastro trasportatore immerso in acqua deionizzata
I wafer di silicio vengono trasportati da una fase della lavorazione a quella successiva all'interno di cassette. Le cassette vengono trasferite su trasportatore completamente immerso in acqua deionizzata. Ai due lati del trasportatore si trovano sensori
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Sensori D12 |
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