D12 - Rilevamento di cassette di wafer immerse in liquido con particolato sospeso

Rilevare la presenza di una cassetta di wafer su un nastro trasportatore immerso in acqua deionizzata

Descrizione

I wafer di silicio vengono trasportati da una fase della lavorazione a quella successiva all'interno di cassette. Le cassette vengono trasferite su trasportatore completamente immerso in acqua deionizzata. Ai due lati del trasportatore si trovano sensori

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