Rilevare i wafer in un'apposita cassetta
Un emettitore di luce laser è usato per creare un piccolo campo di visione. Il ricevitore utilizza un diaframma con una fessura orizzontale di 0,2" per assicurare che il raggio venga completamente interrotto dal wafer. La cassetta di wafer è posizionata su un elevatore verticale e si alza e abbassa per consentirne la mappatura.
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Emettitori laser M12 |
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Sensori Q23 e QH23 |
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