PicoDot - Mappatura di wafer in unità FOUP

Rilevare wafer semiconduttori posizionati in modo non corretto in una cassetta.

Descrizione

I due sensori PicoDot sono posizionati in modo da rilevare il bordo dello stesso wafer contemporaneamente. Se solo un sensore rileva il bordo del wafer, molto probabilmente quest'ultimo è stato inserito inclinato o di sbieco, in modo da occupare due fessu

Sensore laser serie Picodot PD

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