S12 e M12 - Protezione da sporgenze e rilevamento della posizione iniziale
Verificare 2 condizioni: che nessun wafer sporga al di fuori dei limiti della cassetta e che il robot si trovi alla posizione iniziale.
Descrizione
La coppia di sensori costituita da un emettitore M12 e da un ricevitore EZ-Beam è posizionata in modo da rilevare se i wafer sporgono dal lato aperto di una cassetta di trasferimento, prima della chiusura dello sportello. Il PicoDot, grazie alla sua messa a fuoco precisa, verifica la presenza di una caratteristica sulla lama per wafer, indicante che il robot si trova alla posizione iniziale.