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静電気に対して敏感な環境での保護

静電放電に敏感な環境でウェハーを保護します。

クリーンな環境下における危険なマシンにおいて、EZ-SCREEN安全用エリアセンサで保護を行います。センサの筐体がニッケルメッキ処理されており、静電気の発生を防ぎます。