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基板洗浄装置に残り基板がないことの確認

洗浄処理後に「基板洗浄装置」内にハードディスクが残っていないことを確認

詳細

以前は、基板洗浄装置で洗浄処理されるハードディスク基板がアルミニウム製であったため、一般的な光電センサを使用すれば、洗浄処理後に装置内にディスクが残っていないかどうかを簡単に確認することができました。これに対して透明ガラス基板の場合は光電センサでは検出が難しく、超音波センサのペアを対向して設置すれば、ディスクが残っているかどうかを確実に検出することができます（このアプリケーションは噴霧式の洗浄処理であるため、透明体検出用光電センサはお奨めできません）。