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バナーワールドワイドウェハーマッピング
ウェハーが、カセット内に正しく挿入されているかを確認
詳細
センサ２つを用い、ウェハーのエッジを検出します。 片方のセンサでしか検出しない場合、ウェハーが斜めに挿入されていることを示します。
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PicoDot PD シリーズ |
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