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Detecção do lado chato de um wafer semicondutor

Dois pares de sensores de fibra óptica em modo oposto são usado. Os dos feixes de luz são acionando simultaneamente quando a wafer é posicionada como mostra a figura. O tamanho do feixe e a distancia dos sensores determina a precisão do posicionamento.

Orientar corretamente um wafer semicondutor usando seu lado chato como referencia.