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確認晶圓架上的晶圓片有無

確認晶圓架上是否有沖洗過的晶圓片存在. 。

在晶圓沖洗設備中, 使用一組對照式超音波感測器, 確認在沖洗製程後, 所有晶圓片都已從晶圓架移除. 因為此應用會有水沖洗, 使用超音波感測器能夠達到比光電感測器更佳的效果.。