在晶圓盒內檢測晶圓片的數量計算是否正確
使用D10專家型感測器搭配光纖安裝在機械手臂上(如右圖), 可檢測晶圓盒內的槽上是否有晶圓片存放或空置. 由D10B光纖放大型感測器的接受光量狀態檢測, 並將訊號傳回到控制器進行晶圓片數量的統計.
High-performance, low-contrast plastic fiber optic sensor with bargraph display
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