確認卡匣內的晶圓片皆被放置妥當
使用兩組 PicoDot 感測器偵測晶圓片的兩側邊緣, 若是只有一組感測器有輸出, 則代表該晶圓片位置沒有被放置妥當, 可以準確檢測出晶片的位置是否有減少或放置偏斜的問題. .
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