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美商邦納全球據點在清洗槽中檢測晶圓盒的有無
在清洗槽中檢測晶圓盒的位置有無, 是否有晶圓盒的存在
描述
裝有晶片的晶片盒全部淹沒在除離子的清洗槽中,在清洗槽內將矽晶片從一個地方搬運到另外一個地方.D12感測器配上特氟龍對照式光纖,當晶圓盒存在時,對照式光點被遮敝,可以檢測晶圓盒的有無在移動後的位置.
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D12 系列 |
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