Semicon West

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Semicon is the premier international technology and trade event for the micro & nano-electonics manufacturing community.

Date: July 10-12, 2018

Location: Moscone Center, San Francisco, CA, USA

Event Detailshttp://www.semiconwest.org/

We Want to Meet You!

Visit us at the show! You'll find us at Booth #729.

Banner Engineering Solutions for Semiconductor and Electronics

Isometric perspective of a beautiful microchip under test probes.

Semiconductor equipment design engineers throughout the world rely on Banner’s broad product offering, capacity for rapid product customization, and application solution experts to solve their most challenging applications. 

From LED lighting designed specifically for semiconductor equipment to the world’s fastest fiber amplifier enabling high speed wafer center finding, Banner Engineering has the semiconductor industry experience necessary and product portfolio to solve unique applications

Beleuchtung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen
Beleuchtung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen

Banners WLS27 sind robuste LED-Leuchtbänder, sie wurden speziell für eine helle, gleichmäßige Beleuchtung in anspruchsvollen Umgebungen und unter engen Platzverhältnissen entwickelt. Sie zeichnen sich durch ein platzsparendes, aerodynamisches Design aus, sind in einem Schutzgehäuse vollvergossen und in einer Vielzahl von Farboptionen erhältlich. Maschinenkonstrukteure können WLS27-LED-Leuchtbänder überall dort installieren, wo sie am besten einen Arbeitsbereich beleuchten, ohne kosten- und zeitaufwändige Modifikationen an den Lampen.

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Personenschutz in einer ESD-empfindlichen Umgebung
Personenschutz in einer ESD-empfindlichen Umgebung

Bei dieser Anwendung benötigt der Bediener Zugang zur Waferträgerstation. Der EZ-SCREEN-Sicherheits-Lichtvorhang mit Schutz gegen elektrostatische Entladungen ist für den Schutz des Prozesses und des Bedieners konfiguriert, unter Verwendung von Sendern, Empfängern und Spiegeln, um drei Seiten der Station zu umfassen. Sicherheits-Lichtvorhänge ermöglichen schnelleren, einfacheren Zugang als physische Barrieren und verhindern gleichzeitig die Maschinenbewegung, wenn der Bediener in die Gefahrenzone hinein greift.

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Prüfung der Wafer-Ausrichtung mit DF-G2
Prüfung der Wafer-Ausrichtung mit DF-G2

Durch die Kombination von Banners DF-G2 mit vier PLIS-1-Einweglichtschranken können Bediener gewährleisten, dass der Wafer richtig auf dem Effektor des Roboterarms sitzt, so dass beim Transport in die Kammer kein Schaden entsteht. Wenn der Roboterarm den Wafer in die Kammer transportiert, werden die Lichtleiter unterbrochen und ein Algorithmus berechnet die exakte Waferposition auf der Grundlage der Position, an der die Lichtleiter unterbrochen werden. Banners DF-G2 besitzt eine kurze Ansprechzeit und kann schnell die Wafermitte messen und erfassen.

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Überwachung der Umgebungsbedingungen
Überwachung der Umgebungsbedingungen

Eine Halbleiterfabrik muss die Temperatur, die relative Feuchtigkeit und den Sauerstoffgehalt an mehreren Punkten in der Verarbeitungsanlage, entlang eines 2 Kilometer langen Prozessrohrsystems, überwachen. Sie benötigt eine Lösung, die die Temperatur, die relative Feuchtigkeit und den Sauerstoffgehalt überwacht, einen Ort für die Überwachungspunkte bereitstellt, alle Daten an einer zentralen Stelle sammelt und eine Schnittstelle zu ihrem SCADA-System bietet. Die Lösung muss eine effiziente, sichere Arbeitsumgebung für alle Mitarbeiter schaffen. Angesichts eines unterirdischen Tunnelrohrsystems mit einer Länge von über 2 Kilometern verbietet sich die Verkabelung jeder Überwachungsstelle aus Kostengründen.

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Erfassung von Bonddrahtbrüchen mit Lichtleiterpaar
Erfassung von Bonddrahtbrüchen mit Lichtleiterpaar

Ein Lichtleiterpaar wird als Einweglichtschranke unter dem Bonddraht angebracht. Wenn der Draht bricht und durch den Lichtstrahl fällt, wird ein einstellbarer Einzelschrittlogik-Ausgangsimpuls aktiviert. Für diese Anwendung ist keine konsistente Positionierung des Bonddrahtes erforderlich.

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Erfassung von IC-Leitungsrahmen mit einem D10
Erfassung von IC-Leitungsrahmen mit einem D10

Der Leitungsrahmen einer integrierten Schaltung (IC) bewegt sich auf einem U-förmigen Kanal zu einer Kassette mit mehreren Rahmen. Der D10 Expert-Sensor mit Analog- und Schaltausgängen erfasst die vordere und die hintere Flanke und meldet der Kassette mithilfe eines Signals, dass sich der Leitungsrahmen nähert. Der Sensor funktioniert als Einweglichtschranke, weil große Unterschiede beim Reflexionsvermögen der Rahmenmaterialien den Einsatz eines Reflexionslichttasters unmöglich machen.

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Wafer-Mapping mit Balkenanzeige
Wafer-Mapping mit Balkenanzeige

Die Lichtwellenleiter des D10-Expert-Sensors bewegen sich an einem Wafer-Stapel in der Kassette entlang und prüfen, welche Schlitze besetzt und welche leer sind. Die Balkenanzeige zeigt den Status des Sensors.

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Leadframe-Erfassung in einem Magazin
Leadframe-Erfassung in einem Magazin

Bei der Chip-Montage und beim Drahtbonden werden Leadframes in einer großen vertikalen Kassette befördert. Zur Erhöhung des Durchsatzes werden die Kassetten einer Inspektion unterzogen. Dabei wird geprüft, ob in jedem Steckplatz ein Leadframe vorhanden ist. Der Leadframe kann sehr dünn (bis zu 0,1 mm) und daher schwierig zu erfassen sein. Der VS1 Winkellichttaster erfasst dieses dünne Profil mühelos, ebenso wie nicht-reflektierende Ball Grid Arrays (BGA) aus Kunststoff.

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Erfassung in einem Hochgeschwindigkeits-Chip-Shooter
Erfassung in einem Hochgeschwindigkeits-Chip-Shooter

Die bus-fähige Stromversorgungsfunktion des D10 Expert ermöglicht die gemeinsame Verdrahtung von bis zu 16 Sensoren und deren Betrieb über eine Stromversorgung, was den Verkabelungsbedarf reduziert und es erlaubt, mehrere Sensoren mit nur einem Anschlusspunkt zu verwenden. Platz kann zusätzlich durch die gemeinsame Montage der Sensoren auf einer DIN-Schiene gespart werden, für die Nutzung von Lichtwellenleitern zur Überwachung von mehreren Inspektionspunkten auf engem Raum.

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Wafer-Mapping in einer Kassette
Wafer-Mapping in einer Kassette

PicoDot-Sensoren sind für die gleichzeitige Erkennung der Kante desselben Wafers positioniert. Wenn nur ein Sensor die Wafer-Kante erkennt, ist dieser Wafer höchstwahrscheinlich in einem Winkel oder schräg in zwei Schlitze eingesetzt.

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Latest Technology

Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G2
Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G2

Der Lichtleiterverstärker DF-G2 ist für ultraschnelle Ansprechgeschwindigkeiten ausgelegt und erreicht Ansprechgeschwindigkeiten von 10 Mikrosekunden bei einer Wiederholgenauigkeit von 5 Mikrosekunden. Ausgangsoptionen: Schaltausgang, zwei Schaltausgänge und IO-Link-Kommunikation.

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Kompakter Mini-Winkellichttaster der Bauform VS1
Bauform VS1

Kleiner Hochleistungssensor, erlaubt die einfache Einbettung in eine Anwendung.

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Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren
Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren

SureCross®-Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren liefern Temperatur- und Feuchtigkeitsmessungen in einer Vielzahl von Umgebungen. Werden diese Sensoren zusammen mit SureCross-Funksystemen verwendet, können Umweltbedingungen leicht überwacht werden, ohne dass teure Kabel zu den Überwachungspunkten verlegt werden müssen.

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Lichtleiter-Verstärker: Bauform D10
Lichtleiter-Verstärker: Bauform D10

Hochleistungsfähiger, für schwache Kontraste geeigneter Kunststoff-Lichtleitersensor.

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Hochbelastbare Typ-4-Sicherheits-Lichtvorhänge der Bauform 14/30 herkömmlich
Typ 4, Bauform 14/30 herkömmlich, hochbelastbar

Ausführungen mit 14 und 30 mm Auflösung und Längen bis zu 2400 mm (7,9 ft.) in drei robusten Gehäuseoptionen erhältlich. Geeignet für die Erfassung von Fingern, Händen und Fußgelenken und für den Schutz von Umgebungen.

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WLS27 Shatterproof LED Light for Harsh Environments
WLS27 Shatterproof LED Light for Harsh Environments

Die LED-Leuchtbänder der Bauform WLS27 sind durch bruchsichere Copolyesterverschalung geschützt und eine redundante Versiegelungsmethode schützt vor Eindringen von Wasser. Jedes Leuchtband bietet eine sehr helle, gleichmäßige Beleuchtung, sogar in schwierigen Umgebungen.

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