Beleuchtung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen

Abbildung Beleuchtung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen

Abbildung Beleuchtung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen
WLS27 leuchtend
WLS27 aus

Die Anwendung: Beleuchtung eines Oberflächenveredelungssystems

Die Aufgabe: Die Umgebung beschränkt die Lampenplatzierung und setzt diese aggressiven Chemikalien aus.

Die Lösung: WLS27-LED-Leuchtband

Die Vorteile: Platzsparendes, aerodynamisches Design und  Schutzart IP66, IP67 und IP69K gemäß IEC

Die Beleuchtung des Inneren eines Oberflächenveredelungssystems oder anderer Verarbeitungswerkzeuge der Halbleiterbranche kann eine Herausforderung darstellen. Die Beleuchtungsarmaturen dürfen nicht die Laminarströmung der Luft durch das System behindern, und räumliche Beschränkungen können die Platzierungsoptionen für Beleuchtungsarmaturen erheblich einschränken. Bestimmte Lichtfarben, einschließlich weißes Licht, können negative Auswirkungen auf Systemprozesse haben. Außerdem können die Armaturen aggressiven und schädigenden Chemikalien ausgesetzt sein sowie Dämpfen, die Oberflächen schädigen oder angreifen können.

Die Abdichtung von Beleuchtungsarmaturen in speziellen Schutzgehäusen, die den Luftstrom nicht behindern, macht die Installation zeit-und kostenaufwändiger und verkompliziert unter Umständen Routinewartungen. Häufig werden Lampen in den Ecken eines Verarbeitungswerkzeugs installiert, wo sie den Luftstrom nicht behindern und Platz eine geringere Rolle spielt. An diesen Stellen eingesetzt, beleuchten die Lampen den Arbeitsbereich möglicherweise nicht ausreichend.

Beschreibung

Banners WLS27 sind robuste LED-Leuchtbänder, sie wurden speziell für eine helle, gleichmäßige Beleuchtung in anspruchsvollen Umgebungen und unter engen Platzverhältnissen entwickelt. Sie zeichnen sich durch ein platzsparendes, aerodynamisches Design aus, sind in einem Schutzgehäuse vollvergossen und in einer Vielzahl von Farboptionen erhältlich. Maschinenkonstrukteure können WLS27-LED-Leuchtbänder überall dort installieren, wo sie am besten einen Arbeitsbereich beleuchten, ohne kosten- und zeitaufwändige Modifikationen an den Lampen.

Im Verarbeitungswerkzeug sind mehrere 430-mm-LED-Leuchtbänder direkt über dem Arbeitsbereich installiert, sie beleuchten den Bereich mit einem hellen, gelben Licht, das sich für den Einsatz während photolithographischen Prozessen eignet. Jede Lampe hängt ca. 250 mm von der Decke des Werkzeugs herab, direkt im Luftstrom. Die zylindrische Form der Beleuchtungsarmatur behindert jedoch nicht den Laminarstrom der Luft, der in diesem Reinraum erforderlich ist.

Jedes LED-Leuchtband ist in einem bruchsicheren Polycarbonat-Gehäuse vollvergossen, das redundant versiegelt ist, um das Eindringen von Wasser oder anderen Flüssigkeiten zu verhindern, und besitzt die Schutzart IP66, IP67 und IP69K gemäß IEC. Die in dieser Anwendung verwendeten Polycarbonat-Halterungen gewährleisten, dass die gesamte Installation umfassend vor Beschädigungen bzw. Angriffe durch Chemikalien oder Dämpfe geschützt ist. Diese kostengünstigen LED-Leuchtbänder sorgen während ihrer Lebensdauer von mindestens 50.000 Betriebsstunden für eine helle, wartungsfreie Beleuchtung.


Empfohlene Produkte

LED-Leuchtband: Bauform WLS27
LED-Leuchtband: Bauform WLS27

Die LED-Leuchtbänder der Bauform WLS27 sind durch bruchsichere Copolyesterverschalung geschützt und eine redundante Versiegelungsmethode schützt vor Eindringen von Wasser. Jedes Leuchtband bietet eine sehr helle, gleichmäßige Beleuchtung, sogar in schwierigen Umgebungen.

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