DF-G2로 웨이퍼 중심 감지

DF-G2로 웨이퍼 중심 감지

해결 과제

웨이퍼의 가치는 최대 10만 달러에 이르고 장비 관련 비용은 수백만 달러에 이르기 때문에 반도체 산업에서 웨이퍼의 위치를 감지하는 일은 매우 중요합니다. 웨이퍼를 올바르게 배치하면 고가의 웨이퍼 및 장비 손상을 방지할 수 있습니다. 웨이퍼 중심을 감지함으로써 작업자는 웨이퍼를 체임버에 배치할 때 웨이퍼가 로봇 암에 올바르게 배치되어 있는지 확인할 수 있습니다.

솔루션

Banner의 DF-G2를 대향 모드 PLIS-1 광섬유 4개와 함께 사용하면 체임버로 전달 시 웨이퍼가 손상되지 않도록 로봇 암의 엔드 이펙터에 올바르게 올라가 있는지 작업자가 확인할 수 있습니다. 로봇 암이 웨이퍼를 체임버로 옮길 때 광섬유 빔이 차단되어 알고리즘이 광섬유 감지 빔이 차단되는 시점을 기준으로 정확한 웨이퍼 위치를 계산합니다.

Banner의 DF-G2는 응답 시간이 빨라 웨이퍼 중심을 빠르게 측정 및 감지할 수 있습니다. 웨이퍼가 중심을 벗어나면 로봇 암은 웨이퍼를 올바른 위치로 조정해 웨이퍼와 장비의 손상을 방지합니다.

대향 모드 PLIS-1 광섬유는 시야각이 90⁰이고, 빔 패턴이 매우 치밀하기 때문에 웨이퍼 위치를 정밀하게 측정할 수 있습니다. 또한, 이러한 광섬유는 반도체 제조 시 사용되는 진공 체임버 등과 같은 고온 환경에도 적합합니다. 제한된 공간에서 광섬유를 사용해 원격으로 배치되는 증폭기는 최적의 솔루션을 선사합니다.

주요 제품

DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기
DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기

부품 계수 또는 정합 표시 감지 등과 같은 응용 분야를 위한 고속 처리(10μs)가 가능한, IO-Link 기능을 갖춘 광섬유 증폭기입니다. 출력: NPN 또는 PNP.

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