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利用DF-G2進行晶圓中心偵測

利用DF-G2進行晶圓中心偵測

應用挑戰

在半導體行業,偵測晶圓的位置至關重要,因為晶圓的價值高達10萬美元,涉及的機器價值數百萬美元。確保正確的晶圓佈置可以防止損壞高價格的晶圓和設備。透過偵測晶圓的中心,操作人員可以確保在晶圓被放置在真空室中時,晶片被正確定位在機械臂上。

解決方案

透過將Banner的DF-G2與四個對照模式的PLIS-1光纖配對,操作人員可以確保晶圓正確地放置在機械臂端部的執行器上,以便在將其送入腔室時不會造成損壞。在機械手臂將晶圓移動到真空室中時,光纖光束將中斷,並且算法將基於光纖感測光束的中斷時間來計算精確的晶圓位置。

Banner的DF-G2具有快速的反應時間,可以快速測量和偵測晶圓的中心。如果晶圓偏離中心,機器手臂有時間將晶片調整到正確的位置,以防止損壞晶圓和設備。

對照模式PLIS-1光纖具有90°視角,其雷達波形非常緊密,可精確測量晶圓定位。這些光纖也適用於高溫環境,例如半導體製造使用的真空腔室區域。由於區域的空間有限,配有光纖的遠程放大器提供了最佳解決方案。

產品特色

DF-G2系列高速光纖放大器
DF-G2系列高速光纖放大器

具有IO-Link功能的光纖放大器,用於高速(10μs),適用於零件計數或色標偵測等應用。輸出:NPN或PNP。

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