DF-G2 Serisi İle Wafer Merkezini Algılama
Challenge
Yarı iletken endüstrisinde wafer pozisyonunun algılanması kritik öneme sahiptir. Çünkü, 100.000 $'a ulaşabilen maliyetlerinin yanı sıra makinaları da milyonlarca dolar değerindedir. Wafer'ların konumunu kontrol ederek yüksek maliyete sahip Wafer'ların ve ekipmanların hasar görmesini engelleyebilirsiniz.
Çözüm
By pairing Banner’s DF-G2 with four opposed mode PLIS-1 fiber optics, operators can ensure the wafer is on the robotic arm’s end effector correctly so that no damage is done when passing it into the chamber. Robot kolu Wafer'ı hazneye taşırken, fiber optik ışınlar kesilecek ve fiber algılama ışınlarının ne zaman kırıldığına dayanan bir algoritma ile Wafer pozisyonu tam olarak hesaplanacaktır.
Banner’s DF-G2 has a fast response time and can quickly measure and detect the wafer’s center. Bu sayede wafer yönü merkezden çıksa bile robot kolu wafer'ı doğru pozisyona alarak hem wafer'ın hem de ekipmanların hasar görmesini engeller.
Opposed mode PLIS-1 fiber optics have a 90⁰ viewing angle and their beam pattern is very tight, allowing for a precise measurement of wafer positioning. Ayrıca, yarı iletken üretimindeki vakum bölgesi gibi yüksek sıcaklıktaki ortamlarda kullanıma uygundur. Kompakt yapısı sayesinde dar alanlara kolayca sığan fiber optikler amfiden uzağa monte edildiği için bu gibi uygulamalara mükemmel çözümler sunar.
İlgili Ürünler
DF-G2 Serisi Yüksek Hızlı Fiber Optik Amfi
Parça sayımı veya işaret benekçiği algılama gibi uygulamalar için kullanılan, IO-Link özellikli ve yüksek hızlı (10 μs) fiber amfilerdir. Output: NPN veya PNP.