Detección de Cassette de Wafers Bajo Agua

Imagen Detección de Marco de Plomo en un Carrete

Reto

Para detectar la presencia de un carrete de wafers en un transportador sumergido en el agua

Solución

Los wafers de silicio son transportados desde un proceso a otro en un carrete a través de un transportador totalmente sumergido en agua des-ionizada. Un sensor D1 tiene fibras en modo opuesto de teflón encapsuladas que se encuentran a cada lado de la cinta transportadora Cuando la carrete está presente, el haz opuesto se rompe.

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