Mapeo de Wafer en un Cassette

Imagen Mapeo de Wafer en un Cassette

Reto

Detectar wafers de semiconductores que están incorrectamente cargados en un casete

Solución

PicoDot sensores están colocados para detectar el borde de la oblea del mismo al mismo tiempo. Si sólo hay un sensor detecta un borde del wafer, ese wafer sera insertado en ángulo, o ranura transversal.

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