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    Detección del Centro de un Wafer Utilizando DF-G2

    Reto

    En la industria de los semiconductores, la detección de la posición de un wafer es vital. Los wafers tienen un valor de hasta $100,000 y las máquinas involucradas cuestan millones de dólares. Asegurar la colocación correcta de la oblea previene daños en las costosas obleas y equipo. Por medio de la detección del centro de la oblea, los operadores pueden asegurar que está correctamente colocada en el brazo robótico en el momento en que la oblea se coloca en la cámara.

    en la industria de semiconductores

    Solución

    Utilizando cuatro amplificadores DF-G2 de Banner junto con fibras ópticas de modo opuesto PLIS-1, los operadores pueden asegurarse de que la oblea está siendo sujetada correctamente por la herramienta del brazo robot, con la finalidad de que no sufra daño al ser pasada al interior de la cámara. A medida que el brazo robótico mueve la oblea al interior de la cámara, los rayos de las fibra óptica se romperán y un algoritmo calculará la posición exacta de la oblea basada en cuándo se rompen los haces de luz de las fibras.

    El amplificador DF-G2 de Banner tiene un tiempo de respuesta rápido y puede medir y detectar rápidamente el centro de la oblea. Si la oblea no está centrada, el brazo robótico tiene tiempo para ajustar la oblea en la posición correcta, previniendo el daño a la oblea y al equipo.

    La fibra óptica de modo opuesto PLIS-1 tiene un ángulo de visión de 90⁰ y su patrón de haz de luz es muy estrecho, lo que permite una medición precisa de la colocación de la oblea. Estas fibras también son adecuadas para ambientes de alta temperatura, como el interior de la cámara de vacío donde se fabrican semiconductores. Con un área de espacio limitado, un amplificador colocado remotamente con fibras ópticas proporciona una solución óptima.

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