半導體晶圓有無偵測的三個解決方案
2017年7月7日
半導體晶片可能是透明或反光的，而這兩者都可能成為感測器偵測的難題。 因此，重要的是要採用能可靠偵測兩種類型的晶片的技術。 在真空室中偵測晶片時，感測器的安裝也是一個挑戰。
Banner Engineering提供了幾種解決方案，能可靠地偵測真空室中的透明和反光晶圓。本文介紹了可用於此應用的三種解決技術。
1. 視窗玻璃上的雙模式雷射距離感測器
可用於偵測晶片的第一類型感測器是通過視窗玻璃安裝的雙模式雷射距離感測器。 Banner的Q4X等具有雙重模式功能的雷射感測器可偵測距離的變化，也可以從穩定的背景情況中偵測光的強度變化。 可以讓Q4X以高準確度偵測出具有挑戰性的目標，例如透明和反光晶圓。
具有雙重模式的雷射距離感測器不僅可以偵測一定距離內的目標，還可到一定量的光線返回接收器時偵測到。 為了順利運作，必須教導穩定的參考表面，並記錄參考表面的距離和強度，並將其用作基線。
進入光束感測範圍的透明或反光晶片，改變背景環境中的感知距離和光強度。 來自Banner的Q4X也能夠穿透玻璃窗偵測，不受干擾。
2.光電感測器穿透窗玻璃
準確偵測晶圓難題的另一種感測器是具有同軸光學設計的反射板型光電感測器。 具有透明目標物偵測能力的QS18沿著單個窄軸發射和接收光線。可大幅降低反光錯誤偵測的風險，優化透明晶片的偵測。
另外，由於這些感測器的光線發射和接收是在單個窄波束上行進，可從一個小光圈孔徑觀察，可以透過玻璃窗使用，非常適合真空室應用。具有偏振濾光片的光電感測器將會發射和偵測特定極化的光波，忽略所有其他光波。進一步降低了由反光引起的錯誤偵測風險。
了解更多用於偵測透明物體的偏光同軸光學元件
真空室等級光纖
最後，真空室等級的光纖解決方案也可用於偵測透明或反光晶片。
光纖放大器提供光纖解決方案，可安裝在真空室外。 真空等級玻璃光纖的特殊穿透配件安裝在裡面，將光纖燈進入腔室。
光纖調整到一定位置，使得光線朝向真空等級的玻璃反光器照射，偵測到玻璃及穿越光纖和反光器之間的反光晶片。
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採用通用外殼設計和18 mm螺紋圓柱的泛用型光電感測器，是各種感測器樣式的理想替代品。
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