3 Soluções para Detecção de Presença de Pastilhas Semicondutoras

7 de julho de 2017

Semiconductor wafer under microscope light with test probes

As pastilhas semicondutoras podem ser transparentes ou reflexivas, o que pode ser desafiador para os sensores detectarem. Por isso, é importante usar uma tecnologia capaz de detectar os dois tipos de pastilhas de forma confiável. A montagem do sensor também pode ser um desafio para detectar pastilhas em uma câmara de vácuo.

Felizmente, a Banner Engineering oferece várias soluções que podem ser usadas para detectar de forma confiável pastilhas transparentes e reflexivas em uma câmara de vácuo. Este artigo descreve 3 tecnologias que podem ser usadas para solucionar esta aplicação.

1. Sensor de distância a laser de modo duplo através do vidro da janela

O primeiro tipo de sensor que pode ser usado para detectar pastilhas é um sensor de distância a laser de modo dual montado através de um vidro. Os sensores a laser com capacidade de modo duplo, como o Q4X da Banner, detectam não apenas mudanças na distância, mas também mudanças na intensidade da luz em uma condição de fundo estável. Isso permite que o Q4X detecte alvos desafiadores, como pastilhas transparentes e reflexivas, com um alto nível de precisão.

Um sensor de distância a laser com modo dual pode detectar não apenas quando o alvo está presente em uma determinada distância, mas também quando retorna uma certa quantidade de luz ao receptor. Para que isso funcione, uma superfície de referência estável deve ser programada e a distância e a intensidade da superfície de referência gravadas e usadas como base.

A presença de uma pastilha transparente ou reflexiva entrando na faixa de detecção do feixe altera a distância percebida e a intensidade da luz da condição de fundo. O Q4X da Banner também é capaz de detectar através de uma janela de vidro sem interferência.

2. Sensor fotoelétrico através do vidro da janela

Outro sensor que detecta com precisão alvos desafiadores de pastilhas é um sensor fotoelétrico retrorreflexivo com um design óptico coaxial. O QS18 com Clear Object Detection emite e recebe luz ao longo de um único eixo estreito. Isso otimiza a detecção de pastilhas transparentes reduzindo drasticamente o risco de detecção falsa da luz refletida.

Além disso, como a luz emitida e recebida viaja em um único feixe estreito, esses sensores podem ver através de um pequeno diafragma, permitindo que sejam usados através de uma janela de vidro para aplicações de câmara de vácuo. Os sensores fotoelétricos com filtros de polarização emitem e detectam ondas de luz de uma polarização específica, ignorando todas as outras ondas de luz. Isso reduz ainda mais o risco de detecção falsa causada pela luz refletida.

Saiba mais sobre a óptica coaxial polarizada para detectar objetos transparentes.

3. Fibra com classificação de câmara de vácuo

Finalmente, uma solução de fibra óptica que é destinada para uso em uma câmara de vácuo também pode ser usada para detectar pastilhas transparentes ou reflexivas.

Com uma solução de fibra óptica, o amplificador de fibra é montado fora da câmara de vácuo. Uma conexão de passagem especial com uma fibra de vidro com classificação de vácuo montada dentro do site leva a luz da fibra óptica para dentro da câmara.

A fibra é posicionada de modo que a luz brilhe em direção a um refletor de vidro destinado para vácuo, detectando pastilhas tanto de vidro quanto reflexivas que passem entre a fibra e o refletor.