cart
DESCRIPTION
PRICE (EACH)
SUBTOTAL
Close
ERROR: There was a store error when adding the item to your cart. [128]
Adding the item to your cart...

반도체 웨이퍼 유무 탐지를 위한 3가지 솔루션

2017년 7월 7일 

Isometric perspective of a beautiful microchip under test probes.

반도체 웨이퍼는 투명하거나 반사성을 띌 수 있는데 두 가지 특성 모두 센서가 감지하는 데 까다로울 수 있습니다.   따라서 이러한 두 가지 종류의 반도체를 확실히 감지할 수 있는 기술을 사용하는 것이 중요합니다.  진공실에서 웨이퍼를 감지하는 경우 센서를 장착하는 것 역시 까다로운 일일 수 있습니다.  

다행스럽게도 Banner Engineering은 진공실의 투명 및 반사형 웨이퍼를 확실하게 감지하는 데 사용할 수있는 몇 가지 솔루션을 제공합니다. 이 글에서는 이 응용 분야를 해결하는 데 사용할 수있는 3가지 기술에 대해 설명합니다.

1. 유리창을 통한 듀얼 모드 레이저 거리 센서

웨이퍼 감지에 사용할 수 있는 첫 번째 센서 종류는 유리창을 통해 장착된 듀얼 모드 레이저 거리 센서입니다.  듀얼 모드 기능이 있는 레이저 센서는 Banner의 Q4X와 같이 안정적인 배경 조건에서 거리의 변화 및 광도 변화를 감지할 수 있습니다.   이를 통해 Q4X는 고도의 정확도로 투명 및 반사형 웨이퍼와 같이 까다로운 대상을 감지할 수 있습니다.  

듀얼 모드 레이저 거리 센서는 대상이 일정 거리 이내에 있을 때 뿐만 아니라 일정량의 빛을 수신기로 반사할 때도 감지할 수 있습니다.  이를 위해 안정된 기준면을 인식시켜야 하며 기준면의 거리와 밀도를 기록하여 기준선으로 사용해야 합니다.

광선의 감지 범위로 들어오는 투명 또는 반사형 대상이 존재하면 배경 조건에서 인지된 거리와 광도가 변경됩니다.   Banner의 Q4X는 간섭없이 유리창을 통해 감지할 수도 있습니다. 

2. 유리창을 통한 광전 센서

까다로운 웨이퍼 대상을 정확하게 감지하는 또 다른 센서는 동축 광학식으로 설계된 역반사 광전 센서입니다.  투명 대상 감지 기능이 있는 QS18은 하나의 좁은 축을 따라 빛을 방출하고 수신합니다. 이렇게 하면 반사된 빛으로부터 오탐지 위험을 크게 줄여 투명 웨이퍼의 감지가 최적화됩니다.

또한, 방출 및 수신되는 빛이 하나의 앏은 광선으로 이동하기 때문에 이 센서는 작은 구멍을 통해 인식할 수 있으므로 유리창을 통해 진공실 적용분야에 사용할 수 있습니다. 편광 필터가 있는 광전 센서는 다른 모든 광파를 무시하고 특정 편광의 광파를 방출하고 감지합니다. 또한, 반사된 빛에 의한 오탐지의 위험이 줄어듭니다.

투명 대상 감지를 위한 편광식 동축 광학에 대해 자세히 알아보십시오. 

3. 진공실 등급 광섬유

마지막으로 진공실에서 사용하도록 등급이 매겨진 광섬유 솔루션을 투명 또는 반사형 웨이퍼를 감지하는 데 사용할 수도 있습니다.  

광섬유 솔루션을 사용하는 경우 광섬유 증폭기는 진공실 외부에 장착됩니다.  진공 등급의 유리 섬유가 내부에 장착된 특수한 통과 장치(pass-through fitting)를 통해 광섬유 빛이 진공실로 들어갑니다.

광섬유는 진공 등급의 유리 반사 장치 쪽으로 빛이 비춰져서 섬유와 반사 장치 사이를 통과하는 유리 및 반사 웨이퍼를 감지합니다. 

자세한 정보

주요 제품

견고한 Q4X 시리즈 레이저 거리 센서
견고한 Q4X 시리즈 레이저 거리 센서

견고한 Q4X 레이저 거리 센서는 까다로운 다양한 응용 분야의 문제를 해결하고 FDA 식품 등급 스테인리스강 하우징을 채택한 견고한 IP69K 등급으로 공급됩니다.

자세히 알아보기
QS18 시리즈 다용도 광전 센서
QS18 시리즈 다용도 광전 센서

범용 하우징 설계와 18mm 나사형 배럴이 장착된 다용도 광전 센서는 수백 가지 다른 센서 스타일을 이상적으로 대체할 수 있습니다.

자세히 알아보기
DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기
DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기

부품 계수 또는 정합 표시 감지 등과 같은 응용 분야를 위한 고속 처리(10μs)가 가능한, IO-Link 기능을 갖춘 광섬유 증폭기입니다. 출력: NPN 또는 PNP.

자세히 알아보기

관련 글

초음파 센서: 자주 묻는 질문에 대한 답변
초음파 센서: 자주 묻는 질문에 대한 답변

16 1월 2017

이 Q&A 답변은 초음파 센서, 이론 및 용어에 대한 일반적인 궁금증에 대한 내용입니다.

차량 감지용 적외선 광전 센서를 사용하는 경우
가혹한 환경에서 조명을 선택하는 방법

1 11월 2017

이 글에서는 차량 감지에 장거리 적외선 광학 센서를 사용하는 경우를 설명합니다.

수성 투명 액체 감지 방법
수성 액체 감지를 위해 적외선 광전 센서를 사용하는 방법

31 5월 2017

Banner의 QS30 H2O 광전 센서가 물의 고유한 광학 특성을 사용하여 물의 존재 유무를 확실하게 감지하는 방법을 알아보십시오.

정제 계수에 광전 센서를 사용하는 방법
정제 계수에 광전 센서를 사용하는 방법

27 3월 2017

광전 센서는 고정밀, 빠른 응답 속도, 청정실 비접촉 방식과 같은 정제 계수에 매우 좋습니다.