반도체 웨이퍼 유무 탐지를 위한 3가지 솔루션

2017년 7월 7일

Semiconductor wafer under microscope light with test probes

반도체 웨이퍼는 투명하거나 반사형일 수 있으며, 둘 다 센서가 감지하기가 어려울 수 있습니다. 이 때문에 두 가지 유형의 웨이퍼를 모두 정확하게 감지할 수 있는 기술을 사용하는 것이 중요합니다. 또한 진공실의 웨이퍼를 감지할 때 센서 장착이 어려울 수 있습니다.

다행스럽게도 Banner Engineering은 진공실의 투명 및 반사형 웨이퍼를 확실하게 감지하는 데 사용할 수있는 몇 가지 솔루션을 제공합니다. 이 문서에서는 이 응용 분야를 해결하는 데 사용할 수있는 3가지 기술에 대해 설명합니다.

1. 창문 유리를 통한 듀얼 모드 레이저 거리 센서

웨이퍼를 감지하는 데 사용할 수 있는 첫 번째 유형의 센서는 유리창을 통해 장착된 듀얼 모드 레이저 거리 센서입니다. Banner의 Q4X( )와 같은 듀얼 모드 기능을 갖춘 레이저 센서는 거리의 변화뿐만 아니라 안정적인 배경 조건에서 발생하는 빛의 세기 변화도 감지합니다. 이를 통해 Q4X는 고도의 정확도로 투명 및 반사형 웨이퍼와 같이 까다로운 대상을 감지할 수 있습니다.

듀얼 모드 레이저 거리 센서는 대상이 일정 거리 이내에 있을 때 뿐만 아니라 일정량의 빛을 수신기로 반사할 때도 감지할 수 있습니다. 이를 위해 안정된 기준면을 인식시켜야 하며 기준면의 거리와 밀도를 기록하여 기준선으로 사용해야 합니다.

광선의 감지 범위로 들어오는 투명 또는 반사형 대상이 존재하면 배경 조건에서 인지된 거리와 광도가 변경됩니다. Banner의 Q4X는 간섭없이 유리창을 통해 감지할 수도 있습니다.

2. 창문 유리를 통한 광전 센서

까다로운 웨이퍼 대상을 정확하게 감지하는 또 다른 센서는 동축 광학식으로 설계된 역반사 광전 센서입니다. 명확한 물체 감지 기능( )이 있는 QS18은 하나의 좁은 축을 따라 빛을 방출하고 수신합니다. 이렇게 하면 반사된 빛으로부터 오탐지 위험을 크게 줄여 투명 웨이퍼의 감지가 최적화됩니다.

또한 방출 및 수신되는 빛이 하나의 앏은 광선으로 이동하기 때문에 이 센서는 작은 구멍을 통해 인식할 수 있으므로 유리창을 통해 진공실 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 편광 필터가 있는 광전 센서는 다른 모든 광파를 무시하고 특정 편광의 광파를 방출하고 감지합니다. 또한 반사된 빛에 의한 오탐지의 위험이 줄어듭니다.

투명 대상 감지를 위한 편광식 동축 광학에 대해 자세히 알아보십시오.