반도체

까다롭고 고유한 반도체 장비 응용 분야를 위한 솔루션

전 세계 반도체 장비 설계 엔지니어들은 가장 까다로운 응용 분야의 문제 해결을 위해 Banner의 광범위한 제품, 신속한 제품 맞춤화를 위한 역량과 응용 분야 솔루션 관련 전문 지식에 기대고 있습니다.

반도체 장비를 위해 특별히 설계된 LED 조명에서부터 고속 웨이퍼 센터 검색을 가능하게 하는 전 세계에서 가장 빠른 광섬유 증폭기에 이르기까지 Banner Engineering은 이 응용 분야 고유의 문제를 해결하는 데 필요한 반도체 산업 경험과 제품 포트폴리오를 보유하고 있습니다.

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응용 분야

Machine Safeguarding in an ESD-Sensitive Environment

In this application, machine operators require access to the wafer carrier station. The EZ-SCREEN ESD safety light curtain system is configured to safeguard the process and operator using emitters, receivers and mirrors to enclose three sides of the station. Safety light curtains allow quicker, easier access than physical barriers while preventing machine movement if the operator reaches into the hazardous zone.

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Integrated Circuit Lead Frame Detection with a D10

The lead frame of an integrated circuit moves on a U-shaped channel toward the cassette that holds multiple frames. The D10 Expert Analog/Discrete sensor detects the leading and trailing edge, to signal to the cassette that the lead frame is approaching. The sensor operates in the opposed mode, because large differences in reflectivity of frame materials make diffuse sensing impossible.

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Wafer Mapping with Bargraph Display

The fibers of the D10 Expert sensor move along the stack of wafers in the cassette, mapping which slots are occupied and which are empty. The bargraph displays the sensor's status.

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Lead Frame Detection in a Magazine

In the process of die bonding and wire bonding, lead frames are conveyed in a tall vertical cassette. To increase throughput, the cassettes are inspected to determine if a lead frame is present in each slot. Because the lead frame can be as thin as 0.1 mm, it can be difficult to sense. The VS1 convergent sensor easily senses this thin profile, as well as non-reflective plastic ball grid arrays (PBGA).

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DF-G2로 웨이퍼 중심 감지

Banner의 DF-G2를 대향 모드 PLIS-1 광섬유 4개와 함께 사용하면 체임버로 전달 시 웨이퍼가 손상되지 않도록 로봇 암의 엔드 이펙터에 올바르게 올라가 있는지 작업자가 확인할 수 있습니다. 로봇 암이 웨이퍼를 체임버로 이동할 때 광섬유 빔이 차단되어 알고리즘이 광섬유 감지 빔이 차단되는 시점을 기준으로 정확한 웨이퍼 위치를 계산합니다. Banner의 DF-G2는 응답 시간이 빨라 웨이퍼 중심을 빠르게 측정 및 감지할 수 있습니다.

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