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    DF-G2로 웨이퍼 중심 감지

    해결 과제

    반도체 산업에서는 웨이퍼의 위치를 감지하는 것이 중요합니다. 웨이퍼의 가치는 최대 10만 달러에 이르고 관련 장비 비용은 수백 만 달러에 이릅니다. 웨이퍼를 올바르게 배치하면 고가의 웨이퍼 및 장비 손상을 방지할 수 있습니다. 웨이퍼 중심을 감지함으로써 작업자는 웨이퍼를 챔버에 배치할 때 웨이퍼가 로봇 암에 올바르게 배치되어 있는지 확인할 수 있습니다.

    반도체 산업에서

    솔루션

    Banner의 DF-G2를 대향 모드 PLIS-1 광섬유 4개와 연결해 작업자는 로봇 암의 엔드 이펙터 위에 웨이퍼가 제대로 배치되어 있는지 확인해 웨이퍼가 챔버를 통과할 때 손상되지 않도록 할 수 있습니다. 로봇 암이 웨이퍼를 챔버로 옮길 때 광섬유 빔이 차단되어 알고리즘이 광섬유 감지 빔이 차단되는 시점을 기준으로 정확한 웨이퍼 위치를 계산합니다.

    Banner의 DF-G2는 응답 시간이 빨라 웨이퍼 중심을 빠르게 측정 및 감지할 수 있습니다. 웨이퍼가 중심을 벗어나면 로봇 암은 웨이퍼를 올바른 위치로 조정해 웨이퍼와 장비의 손상을 방지합니다.

    대향 모드 PLIS-1 광섬유는 시야각이 90⁰이고, 빔 패턴이 매우 치밀하기 때문에 웨이퍼 위치를 정밀하게 측정할 수 있습니다. 또한, 이러한 광섬유는 반도체 제조 시 사용되는 진공 체임버 등과 같은 고온 환경에도 적합합니다. 제한된 공간에서 광섬유를 사용해 원격으로 배치되는 증폭기는 최적의 솔루션을 선사합니다.

    주요 제품

    DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기
    DF-G2 시리즈 고속 광섬유 증폭기

    부품 계수 또는 정합 표시 감지 등과 같은 응용 분야를 위한 고속 처리(10μs)가 가능한, IO-Link 기능을 갖춘 광섬유 증폭기입니다. 출력: NPN 또는 PNP.

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