Rilevamento di cassetta di wafer immersa in acqua
La sfida
Rilevare la presenza di una cassetta di wafer su un nastro trasportatore immerso in acqua
Soluzione
I wafer in silicio passano da un processo all'altro all'interno di una cassetta che avanza su un nastro trasportatore totalmente immerso in acqua deionizzata. Ai due lati del trasportatore si trova un sensore DF-G1 a fibre ottiche in modalità emettitore/ricevitore protette da guaine in teflon. La presenza della cassetta interrompe il raggio formato tra emettitore e ricevitore.
Prodotti in primo piano
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