Mappatura di wafer in una cassetta
La sfida
Rilevare wafer semiconduttori posizionati in modo non corretto in una cassetta.
Soluzione
I sensori PicoDot vengono posizionati in modo da rilevare contemporaneamente il bordo dello stesso wafer. Se solo uno dei sensori rileva il bordo del wafer, probabilmente il wafer è inclinato oppure inserito scorrettamente.