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    • 半導体プロセスツール用照明

    Semiconductor Process Tool Illumination Image
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    WLS27 Lit
    WLS27 off

    用途：表面処理システムの照明

    課題：環境的に照明器具の設置に限りがあり、過酷な薬品にさらされる

    解決法：WLS27 LEDストリップライト

    メリット：省スペース、空気力学的設計、IEC IP66、IP67、IP69K定格

    表面処理システム内またはその他の半導体産業プロセスツール内の照明は困難です。照明器具がシステムを流れる層流を遮断してはならず、空間の制約によって照明器具の設置オプションが大幅に制限されてしまいます。白色光などの特定の照明の色によって、システムのプロセスに悪影響が及ぶことがあります。さらに、これらの器具は過酷で有害な薬品にさらされるだけでなく、表面を傷つけ腐食させる蒸気にもさらされる可能性があります。

    空気の流れを妨害しない特別な防護エンクロージャに照明器具を密閉すると、設置にかかる時間と費用がかさみ、定期的なメンテナンスが複雑になります。通常、照明は、単に空気の流れを妨げない場所やスペースがあまり制限されない場所である、プロセスツールの隅に設置されます。こういった場所に配置された照明は、作業エリアを十分に照らすことができません。

    説明

    バナーのWLS27は耐久性に優れたLEDストリップライトで、特に困難な環境と限られたスペースで鮮やかで均一な照明を提供するように開発されました。これらの照明には、省スペース型の空気力学の原理を応用した設計が施されており、防護シェルに完全密封され、幅広い照明色オプションで提供されています。機械設計者は、照明に費用のかかる、または時間のかかる変更を適用することなく、作業エリアを照らすために最適な場所に、WLS27 LEDストリップライトを設置することができます。

    複数の430 mm LEDストリップライトは、プロセスツール内部の作業エリアの真上に設置されるため、フォトリソグラフィープロセス中の使用に適切なはっきりとした鮮やかな黄色い光により、スペース一帯を照らすことができます。各照明は、空気の流れる経路に直接、ツールの天井部から約250 mmの位置に吊り下げられます。ただし、照明器具の環状の形状により、クリーンスペースに必要な層流の妨げになることはありません。

    各LEDストリップライトは、飛散防止加工されたポリカーボネート製シェルに完全に密閉されています。冗長して密閉されているため、水などの液体の浸入から保護されており、IEC IP66、IP67、およびIP69K定格に認定されています。この用途にはポリカーボネート製ブラケットが使用されているため、設置全体が、薬品や蒸気による損傷や腐食から完全に保護されています。これらのLEDライトストリップはコスト効率が良く、鮮やかで、低電力、メンテナンス不要の照明をその寿命期間である5万時間以上に渡って提供することができます。

    この記事で取り上げられた製品

    過酷な環境用のWLS27飛散防止LEDライト
    過酷な環境用のWLS27飛散防止LEDライト

    耐薬品性のある飛散防止ハウジングに完全密閉。洗浄に対応したIP69Kに準拠。複数のカラーオプションで照明と表示の組み合わせを実現。

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