半導体

半導体ヒーロー

特殊で需要の高い半導体装置用途向けソリューション

最も困難な用途を解決できるバナーの幅広い製品、迅速な製品カスタマイズ力、および用途ソリューション専門技術者は、世界中の半導体装置の設計技士から信頼を受けています。

半導体装置向けに特別に設計されたLED照明からウェハーの高速中心検出を行える世界最速のファイバ増幅器まで、バナーエンジニアリングには、特有の用途を解決するために必要な半導体産業の経験と製品ポートフォリオが備わっています。

用途

DF-G2によるウエハ中心検出
DF-G2によるウエハ中心検出

バナーのDF-G2と4台の透過型PLIS-1光ファイバを使って、ウエハがロボットアームのエンドエフェクターに正しく取り付けられていることを確認し、チャンバー内に搬送されたときにウエハが損傷するのを防ぎます。ロボットアームがウエハをチャンバー内に入れるときに光ファイバビームが遮断され、いつ検知ビームが遮断されたかに基づいてアルゴリズムが正確なウエハ位置を計算します。バナーのDF-G2はレスポンスが早く、ウエハの中心をすばやく測定して検出します。

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ESDの影響を受けやすい環境での機械の安全防護
ESDの影響を受けやすい環境での機械の安全防護

このような用途では、機械オペレータはウエハキャリアステーションにアクセスする必要があります。EZ-SCREEN ESDセーフティライトカーテンシステムの投光器、受光器、ミラーを使ってステーションの3つの面を囲むように設定して、工程およびオペレータを安全防護します。物理的な柵よりセーフティライトカーテンの方が簡単にすぐにアクセスすることができる一方で、オペレータが危険ゾーンに入ったときには機械動作を止める働きをします。

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マガジン内のリードフレーム検出
マガジン内のリードフレーム検出

ダイボンディングおよびワイヤボンディングのプロセスでは、リードフレームは丈が高く垂直なカセット内を移動します。スループットを向上させるためには、カセットを検査してリードフレームが各スロットに存在するかどうかを判定します。リードフレームの厚さはわずか0.1mmほどのこともあるため、検知が難しい場合があります。VS1コンバージェントセンサは、この薄型プロファイル、および非反射プラスチックボールグリッドアレイ (PBGA) を容易に検出します。

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D10を使用した集積回路のリードフレーム検出
D10を使用した集積回路のリードフレーム検出

集積回路のリードフレームは、複数のフレームを保持するカセットに向かってU字型チャンネル上を移動します。D10 Expertアナログ/ディスクリートセンサは、前縁と後縁を検出して、リードフレームが近づいていることを知らせる信号をカセットに送信します。フレーム材の反射率の差が大きいと反射検知が不可能になるため、センサは透過モードで動作します。

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棒グラフ表示によるウェハーマッピング
棒グラフ表示によるウェハーマッピング

D10エキスパートセンサのファイバは、カセット内のウェハーのスタックに沿って移動し、どのスロットが占有され、空であるかをマッピングします。棒グラフはセンサのステータスを表示します。

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DF-G2シリーズ 高速光ファイバ増幅器
DF-G2シリーズ 高速光ファイバ増幅器

部品カウントまたはレジマーク検出などの用途向けに高速 (10 μs) を実現するIO-Link機能を搭載したファイバ増幅器です。NPNまたはPNP出力。

Q4Xシリーズ 高耐性レーザー距離センサー
Q4Xシリーズ 高耐性レーザー距離センサー

頑丈なQ4Xレーザー距離センサは多数の困難な用途を解決でき、FDA食品等級のステンレス鋼ハウジング格納により、耐性の高いIP69K等級を提供します。

LEシリーズ 1 m範囲のレーザー変位センサ
LEシリーズ 1 m範囲のレーザー変位センサ

100~1000 mmをすぐに測定できるLEの測定精度は、品質管理における制御、分類、および検査のタスクに最適です。

過酷な環境用のWLS27飛散防止LEDライト
過酷な環境用のWLS27飛散防止LEDライト

耐薬品性のある飛散防止ハウジングに完全密閉。洗浄に対応したIP69Kに準拠。複数のカラーオプションで照明と表示の組み合わせを実現。

WLS27 EZ-STATUS付きマルチカラーLEDストリップライト
WLS27 EZ-STATUS™ 付きマルチカラーLEDストリップライト

明るい高輝度の照明と視認性の高い表示の組み合わせ。リニアモデルは耐薬品性のある飛散防止ハウジングに完全密閉。IP69Kに準拠し、洗浄環境に対応。

XS26シリーズ拡張性安全コントローラ
XS26シリーズ拡張性安全コントローラ

この拡張性安全コントローラは8台の拡張I/Oモジュールを追加することが可能で、複数のプロセスを持つ大規模なマシンを含め、様々なマシンに適応できます。

DF-G1シリーズ 汎用光ファイバ増幅器
DF-G1シリーズ 汎用光ファイバ増幅器

汎用およびエラー防止に最適なIO-Link機能を搭載したファイバ増幅器。単純な操作でセットアップと構成を行えます。NPNまたはPNP出力です。