水中でのウェハーカセット検出
課題
水中に浸漬されたコンベア上のウェハーカセットの有無を検出する
解決策
シリコンウェハーは、脱イオン水中に完全に浸漬されたコンベア上のカセットに収納された状態でプロセス間を搬送されます。DF-G1センサは、コンベアの片側に配置されたフッ素樹脂で密閉された透過モードファイバを搭載しています。カセットが存在する時、透過ビームは遮断されます。
この記事で取り上げられた製品
DF-G1シリーズ 汎用光ファイバ増幅器
汎用およびエラー防止に最適なIO-Link機能を搭載したファイバ増幅器。単純な操作でセットアップと構成を行えます。NPNまたはPNP出力です。