棒グラフ表示によるウェハーマッピング

棒グラフ表示によるウェハーマッピングの画像

課題

エラーおよびウェハーへの損傷の可能性を避けるために、カセット内部にあるウェハーの有無を検出できるソリューションが必要です。カセットの周りのスペースは限られ、小さいので、この環境では小型の簡易なソリューションが理想的です。

解決策

バナーエンジニアリングのD10光ファイバ増幅器は、プラスチックファイバで使用される小型増幅器です。この増幅器には、見やすく明るい棒グラフディスプレイが付いています。D10エキスパートセンサは小さな物体を検出するように設計されており、D10エキスパートセンサのファイバは、カセット内のウェハーのスタックに沿って移動し、どのスロットが占有され、空であるかをマッピングします。明るい棒グラフがセンサのステータスを表示するため、容易に確認できます。

この動画で取り上げられた製品

D10シリーズ 高性能光ファイバ検出
D10シリーズ 高性能光ファイバ検出

温度に敏感な環境で配線を減らすためにバスパワー電源とともに提供。高性能低コントラストのプラスチック光ファイバセンサです。

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