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    DF-G2によるウエハ中心検出

    課題

    半導体産業では、ウエハの位置を検出することが欠かせません。ウエハの価格は最高10万ドルで、その製造に使われる機械は数百万ドルに及びます。ウエハが適切な位置にあるか確認することで、高額なウエハおよび設備に損傷が及ぶのを防ぐことができます。ウエハの中心を検出することによって、オペレータはウエハがチャンバー内に搬送されたときにロボットアームの正しい位置に取り付けられていることを確認できます。

    半導体産業

    解決策

    バナーのDF-G2と4台の透過型PLIS-1光ファイバを使って、ウエハがロボットアームのエンドエフェクターに正しく取り付けられていることを確認し、チャンバー内に搬送されたときにウエハが損傷するのを防ぎます。ロボットアームがウエハをチャンバー内に入れるときに光ファイバビームが遮断され、いつ検知ビームが遮断されたかに基づいてアルゴリズムが正確なウエハ位置を計算します。

    バナーのDF-G2はレスポンスが早く、ウエハの中心をすばやく測定して検出します。ウエアの位置が中心から離れていると、ロボットアームはまだ正しい位置に調整することができ、ウエハおよび設備が損傷するのを防ぎます。

    透過型PLIS-1光ファイバには90⁰の視野角があり、放射パターンは密になっているため、ウエハの位置を正確に測定できます。このファイバは半導体製造の真空チャンバー内などの高温環境にも適しています。光ファイバ付き増幅器を離れた場所に設置することで、スペース上の制約がある場合にも最適のソリューションです。

    この記事で取り上げられた製品

    DF-G2シリーズ 高速光ファイバ増幅器
    DF-G2シリーズ 高速光ファイバ増幅器

    部品カウントまたはレジマーク検出などの用途向けに高速 (10 μs) を実現するIO-Link機能を搭載したファイバ増幅器です。NPNまたはPNP出力。

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