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作業員に近い距離で読み取りやすいステータス表示

効率性と生産高を最適化するには、単一のウェーハ成膜機における複数のFOUPの進み具合を密接に監視する必要があります。作業員はこういった機械の近くで、タワーライトの輝度の高い光を長時間受けながら作業する必要があり、これによって引き起こされる眼精疲労から、さらには身体的、精神的な疲労を被ることがあります。この用途をTL30ベーシックタワーライトを使って解決する方法を説明いたします。

tl30b-wafer-workstation
用途:FOUPの進行状況のステータスの表示

成膜は、半導体装置製造の過程で必要となるステップの1つです。シリコンウエハーは、安全に搬送するために管理された環境で安全に保管できるように、処理と処理の間でFOUP (フープ、正面開口式カセット一体型搬送) に保管されます。あるタイミングで、複数のFOUPを1つのウェハー成膜機に積み込むことができます。すべてのウエハーの処理が終わり、FOUPに戻されると、FOUPを取り出して新しいFOUPを機械に積むことができます。

クリーンルームの作業員に各FOUPの明確なステータス表示を示すことで、効率性を改善し、生産高を高めることができますが、輝度の高いタワーライトの傍で長時間にわたって作業することで生じる眼精疲労により、作業員の疲労度が増し、エラーの割合が高まり、生産性が低下してしまいます。

解決策:調度よい照明を出力するタワーライト

TL30ベーシック タワーライトは、読み取りやすいステータス表示を提供する一方で、人の目にちょうど良いレベルの光を出力します。作業員は、1つ以上のタワーライトの傍で不快感や眼精疲労を被ることなく長時間作業することができます。

TL30ベーシック タワーライトを1つのウエハー成膜機に積載された各FOUPの上部に設置することで、FOUPの進捗状況をすばやくわかりやすく表示することができます。成膜工程の特定の段階が進行中である場合、それに対応する色セグメントが点灯します。その段階が完了すると、そのセグメントはグレーに変わるため、外乱光によって、表示を誤って読み取ることはありません。緑のセグメントが点灯すると、FOUPを取り出し、新しいFOUPを積み込むことができます。

TL30ベーシック タワーライトのメリット

コンパクト設計

TL30ベーシック タワーライトのボディは、大型のタワーライトであれば用途には大きすぎるだけでなく、移動や工程の妨げとなるようなエリアに簡単にフィットする、スリムな30 mmの円筒形をしています。 

高いコスト効率

TL30ベーシックは、最もコスト効率の良い、バナーエンジニアリングのタワーライトです。このアンプ内蔵型の完全一体型装置には、コントローラが不要で、組立が完成した状態で出荷されます。そのため、仕様との規模に関係なく、素早く設置することができます。頑丈なIP65およびIK07定格の構造とLED照明により、メンテナンスを行わずに長期に渡って使用することができます。

快適な照明出力

TL30ベーシックの光出力は、作業員が長期的にタワーライトに非常に近い場所で作業するような用途でも目に優しい出力です。

TL30ベーシック タワーライトの画像
この記事で取り上げられた製品