Protezione di un macchinario in un ambiente sensibile alle scariche elettrostatiche (ESD)

Protezione di un macchinario in un ambiente sensibile alle scariche elettrostatiche (ESD) - Immagine

Applicazione: protezione di una stazione di trasporto wafer

Sfide: area sensibile a ESD

Soluzione: barriera ottica di sicurezza ESD EZ-SCREEN

Vantaggi: la custodia nichelata dissipa le scariche elettrostatiche

L'utilizzo delle barriere ottiche di sicurezza per proteggere le celle di lavoro è un'alternativa efficiente ed efficace alle porte d'accesso e ai ripari fissi. Quando occorre proteggere i processi dei wafer semiconduttori, occorre prestare particolare attenzione anche ai problemi associati alle scariche elettrostatiche (ESD). L'applicazione dei componenti di sicurezza corretti protegge i dipendenti e allo stesso tempo anche l'apparecchiatura e il prodotto a semiconduttori.

Descrizione

In questa applicazione, gli operatori del macchinario richiedono l'accesso alla stazione di trasporto dei wafer. Il sistema della barriera ottica di sicurezza ESD EZ-SCREEN è configurato per proteggere il processo e l'operatore utilizzando emettitori, ricevitori e specchi sui tre lati della stazione. Le barriere ottiche di sicurezza consentono un accesso più veloce e agevole delle barriere fisiche, pur impedendo ogni movimento del macchinario se l'operatore entra nella zona pericolosa.

In più, questa applicazione richiede un'apparecchiatura di sicurezza che riduca la possibilità di scariche elettrostatiche che potrebbero danneggiare il prodotto o interferire con il processo automatizzato. Le barriere ottiche di sicurezza ESD EZ-SCREEN hanno una speciale custodia nichelata che dissipa le ESD. Questa versione ESD della barriera EZ-SCREEN integra anche le funzionalità di programmazione e configurazione della versione standard della famiglia di prodotti.


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