Wafer-Mapping mit Balkenanzeige
Die Aufgabe
Um Fehler und mögliche Schäden an Wafern zu vermeiden, ist eine Lösung erforderlich, die das Vorhandensein von Wafern in der Kassette erkennen kann. Es gibt nur wenig Platz um die Kassette herum, daher eignet sich eine kleine, einfache Lösung perfekt für diese Umgebung.
Lösung
Banner Engineerings D10-Lichtleiter-Verstärker ist ein kleiner Verstärker, der mit Kunststoff-Lichtleitern eingesetzt wird. Er ist für eine einfachere Ansicht mit einer hellen Balkenanzeige erhältlich. Der D10-Expert-Sensor wurde für die Erkennung kleiner Objekte entwickelt. Die Lichtwellenleiter des D10 bewegen sich an einem Wafer-Stapel in der Kassette entlang und prüfen, welche Schlitze besetzt und welche leer sind. Die helle Balkenanzeige zeigt den Status des Sensors leicht erkennbar an.
Empfohlene Produkte
Lichtleiter-Verstärker: Bauform D10
Hochleistungsfähiger, für schwache Kontraste geeigneter Kunststoff-Lichtleitersensor.