Halbleiter

Halbleiter Hero

Lösungen für einzigartige und anspruchsvolle Halbleiter-Produktionsanlagen

Halbleiter-Equipment-Konstrukteure setzen weltweit auf das breite Produktangebot von Banner, die Fähigkeit zur schnellen Produktanpassung und Experten für Applikationslösungen, um ihre anspruchsvollsten Anwendungen zu realisieren. 

Von LED-Beleuchtung, die speziell für Halbleiter-Ausrüstung entwickelt wurde, bis zum weltweit schnellsten Lichtleiter-Verstärker zur High-Speed Mittenerkennung von Wafern, Banner Engineering hat die notwendige Erfahrung in der Halbleiter-Industrie und das Produkt-Portfolio, um einzigartige Anwendungen zu lösen.

  1. Halbleiter

    Halbleiter-Equipment-Konstrukteure setzen weltweit auf das breite Produktangebot von Banner, die Fähigkeit zur schnellen Produktanpassung und Experten für Applikationslösungen, um ihre anspruchsvollsten Anwendungen zu realisieren.

Anwendungen

Personenschutz in einer ESD-empfindlichen Umgebung
Personenschutz in einer ESD-empfindlichen Umgebung

Bei dieser Anwendung benötigt der Bediener Zugang zur Waferträgerstation. Der EZ-SCREEN-Sicherheits-Lichtvorhang mit Schutz gegen elektrostatische Entladungen ist für den Schutz des Prozesses und des Bedieners konfiguriert, unter Verwendung von Sendern, Empfängern und Spiegeln, um drei Seiten der Station zu umfassen. Sicherheits-Lichtvorhänge ermöglichen schnelleren, einfacheren Zugang als physische Barrieren und verhindern gleichzeitig die Maschinenbewegung, wenn der Bediener in die Gefahrenzone hinein greift.

Weitere Informationen
Prüfung der Wafer-Ausrichtung mit DF-G2
Prüfung der Wafer-Ausrichtung mit DF-G2

Durch die Kombination von Banners DF-G2 mit vier PLIS-1-Einweglichtschranken können Bediener gewährleisten, dass der Wafer richtig auf dem Effektor des Roboterarms sitzt, so dass beim Transport in die Kammer kein Schaden entsteht. Wenn der Roboterarm den Wafer in die Kammer transportiert, werden die Lichtleiter unterbrochen und ein Algorithmus berechnet die exakte Waferposition auf der Grundlage der Position, an der die Lichtleiter unterbrochen werden. Banners DF-G2 besitzt eine kurze Ansprechzeit und kann schnell die Wafermitte messen und erfassen.

Weitere Informationen
Erfassung von Bonddrahtbrüchen mit Lichtleiterpaar
Erfassung von Bonddrahtbrüchen mit Lichtleiterpaar

Ein Lichtleiterpaar wird als Einweglichtschranke unter dem Bonddraht angebracht. Wenn der Draht bricht und durch den Lichtstrahl fällt, wird ein einstellbarer Einzelschrittlogik-Ausgangsimpuls aktiviert. Für diese Anwendung ist keine konsistente Positionierung des Bonddrahtes erforderlich.

Weitere Informationen
Wafer-Mapping mit Balkenanzeige
Wafer-Mapping mit Balkenanzeige

Die Lichtwellenleiter des D10-Expert-Sensors bewegen sich an einem Wafer-Stapel in der Kassette entlang und prüfen, welche Schlitze besetzt und welche leer sind. Die Balkenanzeige zeigt den Status des Sensors.

Weitere Informationen
Erfassung von IC-Leitungsrahmen mit einem D10
Erfassung von IC-Leitungsrahmen mit einem D10

Der Leitungsrahmen einer integrierten Schaltung (IC) bewegt sich auf einem U-förmigen Kanal zu einer Kassette mit mehreren Rahmen. Der D10 Expert-Sensor mit Analog- und Schaltausgängen erfasst die vordere und die hintere Flanke und meldet der Kassette mithilfe eines Signals, dass sich der Leitungsrahmen nähert. Der Sensor funktioniert als Einweglichtschranke, weil große Unterschiede beim Reflexionsvermögen der Rahmenmaterialien den Einsatz eines Reflexionslichttasters unmöglich machen.

Weitere Informationen
Leadframe-Erfassung in einem Magazin
Leadframe-Erfassung in einem Magazin

Bei der Chip-Montage und beim Drahtbonden werden Leadframes in einer großen vertikalen Kassette befördert. Zur Erhöhung des Durchsatzes werden die Kassetten einer Inspektion unterzogen. Dabei wird geprüft, ob in jedem Steckplatz ein Leadframe vorhanden ist. Der Leadframe kann sehr dünn (bis zu 0,1 mm) und daher schwierig zu erfassen sein. Der VS1 Winkellichttaster erfasst dieses dünne Profil mühelos, ebenso wie nicht-reflektierende Ball Grid Arrays (BGA) aus Kunststoff.

Weitere Informationen
Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G2
Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G2

Der Lichtleiterverstärker DF-G2 ist für ultraschnelle Ansprechgeschwindigkeiten ausgelegt und erreicht Ansprechgeschwindigkeiten von 10 Mikrosekunden bei einer Wiederholgenauigkeit von 5 Mikrosekunden. Ausgangsoptionen: Schaltausgang, zwei Schaltausgänge und IO-Link-Kommunikation.

Geschützter Laser-Abstandssensor - Bauform Q4X
Geschützter Laser-Abstandssensor - Bauform Q4X

Der geschützte Q4X-Sensor löst viele schwierige Anwendungen und wird in einem robusten IP69K-Gehäuse aus Edelstahl in FDA-Lebensmittelgüte geliefert.

Laser-Wegaufnehmersensor mit 1 m Reichweite der Bauform LE
Laser-Wegaufnehmersensor mit 1 m Reichweite der Bauform LE

Die Messgenauigkeit der Bauform LE bei Entfernungen von 100 bis 1000 mm eignet sich für Regel-, Sortier- und Inspektionsaufgaben in der Qualitätskontrolle.

LED-Leuchtband: Bauform WLS27
LED-Leuchtband: Bauform WLS27

Die LED-Leuchtbänder der Bauform WLS27 sind durch bruchsichere Copolyesterverschalung geschützt und eine redundante Versiegelungsmethode schützt vor Eindringen von Wasser. Jedes Leuchtband bietet eine sehr helle, gleichmäßige Beleuchtung, sogar in schwierigen Umgebungen.

Erweiterbarer Sicherheitskontroller: Bauform XS26
Erweiterbarer Sicherheitskontroller: Bauform XS26

Mit der Möglichkeit, bis zu acht E/A-Erweiterungsmodule hinzuzufügen, bietet der erweiterbare Sicherheitskontroller XS26-2 die Fähigkeit, sich an unterschiedliche Maschinen anzupassen, einschließlich großer Maschinen mit mehreren Prozessen. Programmierung in wenigen Minuten mit benutzerfreundlicher Konfigurationssoftware

Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G1
Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G1

Hochleistungsverstärker für Lichtleiter mit Doppeldisplay, einfache Einrichtung und Konfiguration. Ausgangsoptionen: NPN, PNP oder PNP mit IO-Link-Kommunikation.