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  • Gelbe Beleuchtung geeignet für lichtempfindliche Materialien

    Die Auswahl der Beleuchtung während photolithographischer Prozesse ist eine Herausforderung, da weißes Licht einen Anteil an blauen Wellenlängen enthält, die sich negativ auf lichtempfindliche Materialien auswirken. Lesen Sie weiter, um zu erfahren, wie die zweifarbigen Leuchtbänder WLS15 von Banner mit gelben LEDs Reinräume beleuchten, ohne die unentwickelten Photoresiste zu beeinträchtigen. 

    Bild: Gelbe Beleuchtung – Anwendungshinweis
    Die Anwendung: Beleuchtung in Reinräumen für die Photolithographie

    Bei der Halbleiterherstellung beinhaltet das photolithografische Verfahren die Übertragung eines Musters von einer Maske auf ein Substrat unter Verwendung eines lichtempfindlichen Polymers, auch bekannt als Photoresist.  Ein unentwickelter Photoresist ist empfindlich gegenüber weißem Licht, insbesondere gegenüber blauen Wellenlängen (400 nm), die von Leuchtstoffröhren und bestimmten LEDs emittiert werden.  Daher kann Weißlicht nicht zur Beleuchtung von Reinräumen während photolithographischer Prozesse verwendet werden.

    Die Lösung: WLS15 zweifarbiges Leuchtband mit nicht phosphorkonvertierten gelben LEDs

    Gelbes und bernsteinfarbenes Licht kann auch problematisch sein, wenn die Farbe mit phosphorkonvertierten LEDs erreicht wird. Phosphorkonvertierte LEDs erreichen die gelbe Farbe, indem sie blaue LEDs mit einer Phosphorbeschichtung beschichten und sind daher nicht für den Einsatz in lichtempfindlichen Anwendungen geeignet. So verwenden beispielsweise die gelben Modelle der WLS15-Leuchte phosphorkonvertierte gelbe LEDs (InGaN) und emittieren weiterhin blaue Wellenlängen, wie in der folgenden Tabelle dargestellt.

    Die gelben WLS15-Modelle sind jedoch für lichtempfindliche Anwendungen sicher, da sie aus nicht phosphorkonvertierten LEDs (AlInGaP) bestehen.  Diese LEDs haben eine Spektralleistung von mehr als 560 nm und einen Gehalt an blauer Wellenlänge von weniger als 0,35 %.  In den folgenden Diagrammen finden Sie einen Vergleich der spektralen Lichtleistungen von gelbem und bernsteinfarbenem Licht. 

    relative-intensity-yellow
    relative-intensity-amber

    Zweifarbenfähigkeit

    Die Zweifarbenfähigkeit der WLS15 Leuchtbänder bietet zusätzliche Vielseitigkeit bei lichtempfindlichen Anwendungen. WLS15-Leuchten mit sowohl gelben als auch tageslichtweißen LEDs ermöglichen es Halbleiterherstellern, bei Bedarf zwischen den Farben zu wechseln. Wenn der Photolithografieprozess abgeschlossen ist und alle Photoresiste entwickelt wurden, kann der Reinraum mit Weißlicht beleuchtet werden, um eine bessere Sicht bei Wartung und Reinigung zu gewährleisten.

    Durch ein schlankes, flaches Gehäuse mit vielseitigen Montagemöglichkeiten kann die WLS15-Leuchte problemlos in bestehende Schränke oder Arbeitsstationen eingebaut werden, ohne die Sichtverhältnisse zu behindern oder ein bestehendes Anwendungsgerüst zu behindern. Im Vergleich zu Standardleuchten, die im Deckenraster montiert sind, bringt diese Installationsflexibilität helles Licht dorthin, wo es am meisten gebraucht wird, und beseitigt Schatten. Darüber hinaus ist das zweifarbige LED-Leuchtband WLS15 eine in sich geschlossene Einheit, so dass keine Filter oder Glühlampenabdeckungen erforderlich sind.

    Vorteile des zweifarbigen WLS15-Leuchtbands

    Zweifarbige Beleuchtung

    Die Zweifarbenfähigkeit erhöht die Vielseitigkeit der Produktlinie der Bauform WLS15. Wählen Sie aus sechs verschiedenen Farben, um ein zweifarbiges LED-Leuchtband für mehr Sichtbarkeit und Vielseitigkeit in Anwendungen für Arbeitsstationen in engen Räumen zu schaffen.

    Einfache und flexible Installation

    Das schlanke 15 mm flache Design ermöglicht eine schnelle Installation in Bereichen mit begrenztem Platzangebot. Das kleine Leuchtband behindert weder die Sichtlinien noch beeinträchtigt es ein bestehendes Anwendungsgerüst. Flexible Montagemöglichkeiten und eine große Auswahl an Montagewinkeln ermöglichen eine schnelle und einfache Einrichtung.

    WLS15_D
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