Wafer-Mapping in einer Kassette

Abbildung Wafer-Mapping in einer Kassette

Die Aufgabe

Zur Erkennung von Halbleiter-Wafern, die nicht ordnungsgemäß in eine Kassette geladen wurden

Lösung

PicoDot-Sensoren sind für die gleichzeitige Erkennung der Kante desselben Wafers positioniert. Wenn nur ein Sensor die Wafer-Kante erkennt, ist dieser Wafer höchstwahrscheinlich in einem Winkel oder schräg in zwei Schlitze eingesetzt.

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