Wafer-Mapping in einer Kassette
Die Aufgabe
Zur Erkennung von Halbleiter-Wafern, die nicht ordnungsgemäß in eine Kassette geladen wurden
Lösung
PicoDot-Sensoren sind für die gleichzeitige Erkennung der Kante desselben Wafers positioniert. Wenn nur ein Sensor die Wafer-Kante erkennt, ist dieser Wafer höchstwahrscheinlich in einem Winkel oder schräg in zwei Schlitze eingesetzt.
