Personenschutz in einer ESD-empfindlichen Umgebung

Der Einsatz von Sicherheits-Lichtvorhängen zum Schutz von Arbeitszellen ist eine effektive und effiziente Alternative zu festen Schutzeinrichtungen und Zugangstüren. Beim Schutz des Halbleiter-Wafer-Prozesses muss der Problematik der elektrostatischen Entladung (ESD) besondere Sorgfalt und Aufmerksamkeit zuteil werden. Die Anwendung der richtigen Sicherheitskomponenten ermöglicht den Schutz der Mitarbeiter und gleichzeitig der Anlage und des Halbleiterprodukts.

Bei dieser Anwendung benötigt der Bediener Zugang zur Waferträgerstation. Der EZ-SCREEN-Sicherheits-Lichtvorhang mit Schutz gegen elektrostatische Entladungen ist für den Schutz des Prozesses und des Bedieners konfiguriert, unter Verwendung von Sendern, Empfängern und Spiegeln, um drei Seiten der Station zu umfassen. Sicherheits-Lichtvorhänge ermöglichen schnelleren, einfacheren Zugang als physische Barrieren und verhindern gleichzeitig die Maschinenbewegung, wenn der Bediener in die Gefahrenzone hinein greift.

Zudem erfordert diese Anwendung eine Sicherheitsausstattung, die die Möglichkeit von elektrostatischen Entladungen verringert, die das Produkt beschädigen oder den automatisierten Prozess stören könnten. Die EZ-SCREEN-Sicherheits-Lichtvorhänge mit Schutz gegen elektrostatische Entladungen besitzen ein spezielles, vernickeltes Gehäuse, um ESD abzuleiten. Diese ESD-Version des EZ-SCREEN bietet außerdem die Programmierfähigkeit, Einrichtung und Funktionalität der Standardversion der Produktreihe.