Prüfung der Wafer-Ausrichtung mit DF-G2
Die Aufgabe
In der Halbleiterindustrie ist die Erfassung der Position eines Wafers von vitaler Bedeutung. Wafer haben einen Wert von bis zu 100.000 Dollar und die beteiligten Maschinen sind Millioneninvestitionen. Die Gewährleistung der richtigen Waferplatzierung verhindert Schäden an den teuren Wafern und Maschinen. Durch die Erkennung der Wafermitte können die Bediener sicherstellen, dass der Wafer richtig auf dem Rotoberarm positioniert ist, wenn der Wafer in der Kammer platziert wird.
Die Lösung
Durch die Kombination von Banners DF-G2 mit vier PLIS-1 Einweglichtschranken können Bediener gewährleisten, dass der Wafer richtig auf dem Effektor des Roboterarms sitzt, so dass beim Transport in die Kammer kein Schaden entsteht. Wenn der Roboterarm den Wafer in die Kammer transportiert, werden die Lichtleiter unterbrochen und ein Algorithmus berechnet die exakte Waferposition auf der Grundlage der Position, an der die Lichtleiter unterbrochen werden.
Banners DF-G2 besitzt eine kurze Ansprechzeit und kann schnell die Wafermitte messen und erfassen. Wenn der Wafer nicht zentriert ist, hat der Roboterarm Zeit, den Wafer in die richtige Position zu bringen, um eine Beschädigung des Wafers und der Maschine zu verhindern.
PLIS-1 Einweglichtschranken haben einen Sichtwinkel von 90⁰ und ihr Strahlmuster ist sehr eng, was eine präzise Messung der Waferpositionierung ermöglicht. Diese Lichtwellenleiter eignen sich auch für Hochtemperaturumgebungen, zum Beispiel den Vakuumkammerbereich der Halbleiterfertigung. Angesichts des eingeschränkten Platzangebots ist ein entfernt platzierter Verstärker mit Lichtwellenleiter eine optimale Lösung.
Empfohlene Produkte
Lichtleiter-Verstärker: Bauform DF-G2
Der Lichtleiterverstärker DF-G2 ist für ultraschnelle Ansprechgeschwindigkeiten ausgelegt und erreicht Ansprechgeschwindigkeiten von 10 Mikrosekunden bei einer Wiederholgenauigkeit von 5 Mikrosekunden. Ausgangsoptionen: Schaltausgang, zwei Schaltausgänge und IO-Link-Kommunikation.