Erkennung von Wafer-Kassetten unter Wasser
Die Aufgabe
Zur Erkennung des Vorhandenseins einer Wafer-Kassette auf einem Förderband, das in Wasser versenkt ist
Lösung
Das Förderband, auf dem Siliziumwafer in einer Kassette von einem Prozess zum nächsten transportiert werden, befindet sich vollständig unter entionisiertem Wasser. Ein DF-G1-Sensor besitzt vollvergossene Einweglichtschranken-Lichtwellenleiter, die sich an beiden Seiten des Förderbands befinden. Wenn die Kassette vorhanden ist, wird die Lichtschranke unterbrochen.